正確使用施邁茨干式真空泵
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產品名稱: 正確使用施邁茨干式真空泵
產品型號: 10.03.01.00142 EVE-TR 40 AC3
產品展商: 施邁茨
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簡單介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每**都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
正確使用施邁茨干式真空泵
正確使用施邁茨干式真空泵
的詳細介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
雙圓裂片式設計和目前流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每**都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到*的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
干式（無油）真空泵
旋轉葉片泵多單元壓縮原理
長久潤滑軸承和強大冷卻風扇
多種輸出數值的型號
效率**的旋轉葉片泵
牢固、維修量小
無振動運行，連續、低脈沖輸出
良*的散熱功能
抽吸量可匹配客戶實際要求
耗電量低、連續運行經濟性*
正確使用施邁茨干式真空泵
